Аннотация

Элементы ввода–вывода излучения являются важным связующим звеном между устройствами пространственной волоконной оптики и фотонными интегральными схемами (ФИС). В настоящей работе методом двухфотонной лазерной литографии изготовлены спектральноширокополосные адаптеры заведения и выведения излучения для волновода, приподнятогонад подложкой, и проведено сравнение с результатами численного моделирования. Экспериментально показано, что оптимальным для заведения излучения в волновод является использование адаптера полного внутреннего отражения с эллипсоидной поверхностью. Коэффициентпропускания системы из двух адаптеров в спектральном диапазоне 700–1000 нм для s-поляризованного излучения составил не менее 27%.